Kloé n’a pas perdu de temps : à peine labellisé deeptech en mai 2025, l’équipementier en microtechnologie (15 salariés, CA 2024 : 3 M€) a obtenu 1,5 million d’euros en fin d’été, dans le cadre du plan éponyme opéré par Bpifrance. Cette aide abonde un budget global de 3 millions d’euros que la PME héraultaise va investir dans la création d’un nouveau type d’aligneurs de masques : des machines servant à la fabrication de puces électroniques de quelques microns.
Une technologie plus efficiente
Les aligneurs de masques sont des équipements de photolithographie, la spécialité de Kloé : ces outils de grande précision servent à aligner un "photomasque" (portant le motif du circuit intégré) sur un substrat photosensible (une tranche de silicium, ou "wafer"), et à dessiner les pistes par rayonnement UV. Jusqu’ici, Kloé fabriquait des aligneurs de masques pour des wafers de 4 et de 6 pouces. Le programme de R & D lancé par Kloé vise à développer des aligneurs 8 pouces, qui permettront de déposer de 4 à 6 fois plus de composants pour le même temps de production.
Par ailleurs, alors que les machines antérieures ciblaient les laboratoires académiques et industriels, la nouvelle génération sera conçue pour la production uniquement. "Nos concurrents sur ce créneau sont des industriels pesant plusieurs milliards d’euros. Nous avons donc pris le temps de maturer notre technologie, et ce avec profit : nos équipements en 4 et 6 pouces bénéficient déjà d’une belle reconnaissance dans le milieu, car ils affichent de meilleures performances que les autres solutions du marché", vante Paul Coudray, PDG et fondateur de Kloé.
Équipements manuels ou automatisés
Le développement des aligneurs 8 pouces se fera en 3 phases, échelonnées entre 2026, 2027 et 2028. D’abord, Kloé va créer des aligneurs manuels, "destinés aux fabricants de composants à haute valeur ajoutée". Puis, la PME fabriquera des aligneurs semi-automatisés, où l’alignement se fera par reconnaissance de formes grâce à l’intelligence artificielle.
Enfin, elle produira des aligneurs totalement automatisés, équipés d’un bras robotique qui manipulera des cassettes de 25 wafers à la fois. "Ces machines seront de 4 à 8 fois plus compactes que les solutions concurrentes. Cela présente un avantage financier pour les salles blanches, des lieux très chers au mètre carré : ce format compact permettra à une entreprise d’en loger plus", estime le dirigeant.
Un pivot stratégique et commercial
L’investissement porté par Kloé se traduira d’abord par le renforcement de son équipe de R & D, avec 4 embauches prévues d’ici la fin 2025, et par les développements nécessaires aux deux premières phases. Pour la fabrication de l’aligneur automatisé, prévue en 2028, l’entreprise projette d’étendre de 500 m2 ses locaux actuels (1 000 m2), situés à Saint-Mathieu-de-Tréviers.
"Dorénavant, nous ciblons les gros industriels des semi-conducteurs ayant des enjeux de production de masse"
Les ventes de cette nouvelle génération de machines devraient porter le chiffre d’affaires de Kloé de 3 à 5 millions d’euros en 2026, puis à plus de 10 millions d’euros en 2028. "C’est un vrai pivot commercial. Jusqu’ici, nous vendions à parité à des start-up industrielles et aux départements R & D de groupes industriels. Dorénavant, nous ciblons les gros industriels des semi-conducteurs ayant des enjeux de production de masse", insiste Paul Coudray, rappelant que Kloé exporte 95 % de sa production. Ses plus gros débouchés sont déjà les États-Unis et la Chine, mais la PME souhaite d’abord fiabiliser la distribution de ses nouvelles machines en Europe avant de repartir à l’assaut de ces deux marchés.
