Le CEA se dote d'un scanner de fabrication de puces nanoélectroniques à 47 millions d'euros
Le CEA de Grenoble a inauguré vendredi 11[px_nbsp:nbsp]octobre un scanner de lithographie optique 300[px_nbsp:nbsp]mm dans le cadre des travaux de recherche et développement pour la filière des nanotechnologies. D’un montant de 47[px_nbsp:nbsp]M€ dont la Région participe à hauteur de 18[px_nbsp…